-
Alumiinioksidin korkean tarkkuuden keraaminen rengaskeraamiset osat
Kylmäisostaattisella puristuksella muodostetut ja korkeassa lämpötilassa sintratut, sitten tarkkuuskoneistetut ja kiillotetut keraamiset varaosat täyttävät kaikki puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset kulutuskestävyytensä, korroosionkestävyytensä, alhaisen lämpölaajenemisensa ja eristyskykynsä ansiosta. Keramiikkaa voidaan käyttää monenlaisissa puolijohdetuotantolaitteissa, jotka altistuvat korkeille lämpötiloille, tyhjiölle tai syövyttäville kaasuille, pitkään.
Valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidijauheesta, käsitelty kylmäisostaattisella puristuksella, korkean lämpötilan sintrauksella ja tarkalla viimeistelyllä, se voi saavuttaa mittatoleranssin ±0,001 mm, pinnanlaadun Ra 0,1, lämpötilankeston 1600 ℃.
-
ST.CERA-räätälöidyt puolijohdelaitteet keraamiset istukat
Kylmäisostaattisella puristuksella muodostetut ja korkeassa lämpötilassa sintratut, sitten tarkkuuskoneistetut ja kiillotetut keraamiset varaosat täyttävät kaikki puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset kulutuskestävyytensä, korroosionkestävyytensä, alhaisen lämpölaajenemisensa ja eristyskykynsä ansiosta. Keramiikkaa voidaan käyttää monenlaisissa puolijohdetuotantolaitteissa, jotka altistuvat korkeille lämpötiloille, tyhjiölle tai syövyttäville kaasuille, pitkään.
Valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidijauheesta, käsitelty kylmäisostaattisella puristuksella, korkean lämpötilan sintrauksella ja tarkalla viimeistelyllä, se voi saavuttaa mittatoleranssin ±0,001 mm, pinnanlaadun Ra 0,1, lämpötilankeston 1600 ℃.
-
Piikarbidista (SiC) valmistettu keraaminen efektoripää – erittäin jäykkä kiekkojen käsittelyyn korkeissa lämpötiloissa
St.Ceran SiC-keraaminen efektoripääte on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista (SiC-pitoisuus 99,72 %, vapaata piitä 0,05 %) käyttäen S1111-raaka-ainetta. Se tarjoaa poikkeukselliset mekaaniset ominaisuudet: taivutuslujuus 449 MPa (mitattu), kimmokerroin 457 GPa (mitattu) ja Vickers-kovuus 25–28 GPa (tyypillinen). Alhainen tiheys (3,10–3,15 g/cm³, tyypillinen) tarjoaa suuren ominaisjäykkyyden, joka sopii erinomaisesti nopeille kiekkojen siirtoroboteille. Lämmönjohtavuudella 120–150 W/m·K (tyypillinen) ja lämpölaajenemiskertoimella 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (tyypillinen) tämä efektoripääte johtaa lämpöä tehokkaasti pois ja säilyttää mittapysyvyyden korkeissa lämpötiloissa (jopa 1600–1700 °C, ilman kuormitusta). Musta/harmaa väri ja nolla veden imeytyminen takaavat puhdastilayhteensopivuuden.
-
Piikarbidipohjainen (SiC) tyhjiöistukka korkeisiin lämpötiloihin ja plasmaympäristöihin
St.Ceran piikarbidipohjainen keraaminen istukka on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista (erä S1111, piikarbidi 99,72 %, vapaata piitä 0,05 %). Sen mitattu taivutuslujuus on 449 MPa, murtumissitkeys 3,12 MPa·m¹/² ja kimmomoduuli 457 GPa. Materiaalin tyypillinen lämmönjohtavuus (120–150 W/m·K) ja alhainen lämpölaajeneminen (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) mahdollistavat nopean lämpötilan nousun ja minimaalisen kiekkojen vääntymisen lämpösyklien aikana. Istukka voidaan konfiguroida huokoiseksi tyhjiöistukaksi (tasainen kaasun virtaus) tai uritetuksi vakioistukaksi. Sen enimmäiskäyttölämpötila on 1600–1700 °C (ei kuormitusta) ja sillä on erinomainen plasmaeroosiokestävyyden kestävyys, joten tämä istukka sopii erinomaisesti korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyyn (hehkutus, RTP) ja aggressiivisiin etsauskammioihin, joissa alumiinioksidiistukat hajoavat.
-
Puolijohdelaitteiden keraamiset varaosat keraamiset kantajat
Kylmäisostaattisella puristuksella muodostetut ja korkeassa lämpötilassa sintratut, sitten tarkkuuskoneistetut ja kiillotetut keraamiset varaosat täyttävät kaikki puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset kulutuskestävyytensä, korroosionkestävyytensä, alhaisen lämpölaajenemisensa ja eristyskykynsä ansiosta. Keramiikkaa voidaan käyttää monenlaisissa puolijohdetuotantolaitteissa, jotka altistuvat korkeille lämpötiloille, tyhjiölle tai syövyttäville kaasuille, pitkään.
Valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidijauheesta, käsitelty kylmäisostaattisella puristuksella, korkean lämpötilan sintrauksella ja tarkalla viimeistelyllä, se voi saavuttaa mittatoleranssin ±0,001 mm, pinnanlaadun Ra 0,1, lämpötilankeston 1600 ℃.
-
Metallitaustainen alumiinioksidikeraaminen hiomarengas erittäin jäykkään hiontaan
St.Ceran metallipohjaisessa alumiinioksidihiomarenkaassa yhdistyvät erittäin puhdas alumiinioksidi (99,8 % Al₂O₃) -keraaminen kulutuskerros tarkkuuskoneistettuun metallitaustaan (tyypillisesti alumiiniin tai ruostumattomaan teräkseen). Tämä hybridirakenne tarjoaa keraamisen poikkeuksellisen kulutuskestävyyden ja kemiallisen inertian hiomapinnalla, kun taas metallipohja lisää mekaanista lujuutta, helppoa asennusta ja suojaa haurasmurtumilta. Alumiinioksidikerroksen taivutuslujuus on 361 MPa, Vickers-kovuus 16 GPa ja lämmönkestävyys jopa 800 °C. Metallipohja on räätälöity kiinnitysrei'illä, kohdistustapeilla tai magneettisilla ominaisuuksilla integroitavaksi hiontakoneisiin, planeettahiomakoneisiin ja CMP-laitteisiin.
-
Keraamiset varaosat puolijohdekoetinasemalaitteisiin
Kylmäisostaattisella puristuksella muodostetut ja korkeassa lämpötilassa sintratut, sitten tarkkuuskoneistetut ja kiillotetut keraamiset varaosat täyttävät kaikki puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset kulutuskestävyytensä, korroosionkestävyytensä, alhaisen lämpölaajenemisensa ja eristyskykynsä ansiosta. Keramiikkaa voidaan käyttää monenlaisissa puolijohdetuotantolaitteissa, jotka altistuvat korkeille lämpötiloille, tyhjiölle tai syövyttäville kaasuille, pitkään.
Valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidijauheesta, käsitelty kylmäisostaattisella puristuksella, korkean lämpötilan sintrauksella ja tarkalla viimeistelyllä, se voi saavuttaa mittatoleranssin ±0,001 mm, pinnanlaadun Ra 0,1, lämpötilankeston 1600 ℃.
-
Al2O3-keraamisen kiekkoistukan räätälöity käsittely
Kylmäisostaattisella puristuksella muodostetut ja korkeassa lämpötilassa sintratut, sitten tarkkuuskoneistetut ja kiillotetut keraamiset varaosat täyttävät kaikki puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset kulutuskestävyytensä, korroosionkestävyytensä, alhaisen lämpölaajenemisensa ja eristyskykynsä ansiosta. Keramiikkaa voidaan käyttää monenlaisissa puolijohdetuotantolaitteissa, jotka altistuvat korkeille lämpötiloille, tyhjiölle tai syövyttäville kaasuille, pitkään.
Valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidijauheesta, käsitelty kylmäisostaattisella puristuksella, korkean lämpötilan sintrauksella ja tarkalla viimeistelyllä, se voi saavuttaa mittatoleranssin ±0,001 mm, pinnanlaadun Ra 0,1, lämpötilankeston 1600 ℃.
-
ST.CERA räätälöity puolijohdelaitteiden keraaminen levy
Kylmäisostaattisella puristuksella muodostetut ja korkeassa lämpötilassa sintratut, sitten tarkkuuskoneistetut ja kiillotetut keraamiset varaosat täyttävät kaikki puolijohdelaitteiden tiukat vaatimukset kulutuskestävyytensä, korroosionkestävyytensä, alhaisen lämpölaajenemisensa ja eristyskykynsä ansiosta. Keramiikkaa voidaan käyttää monenlaisissa puolijohdetuotantolaitteissa, jotka altistuvat korkeille lämpötiloille, tyhjiölle tai syövyttäville kaasuille, pitkään.
Valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidijauheesta, käsitelty kylmäisostaattisella puristuksella, korkean lämpötilan sintrauksella ja tarkalla viimeistelyllä, se voi saavuttaa mittatoleranssin ±0,001 mm, pinnanlaadun Ra 0,1, lämpötilankeston 1600 ℃.
-
12 tuuman alumiinioksidin tyhjiöistukka 300 mm:n kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran 12-tuumainen tyhjiöistukka on valmistettu tarkkuustekniikalla 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) 300 mm:n kiekkojen käsittelyyn. Istukka on hienosti uritettu (uran leveys 0,5–1,0 mm, nousu 2–3 mm), mikä varmistaa tasaisen tyhjiön jakautumisen koko 300 mm:n halkaisijalle. Tasomaisuus säilyy 5 μm:n tarkkuudella, mikä mahdollistaa kiekkojen vääntymättömän kiinnityksen kuutioinnin, takapuolen hiomisen ja tarkastuksen aikana. Materiaalin korkea taivutuslujuus (361 MPa) ja kovuus (16 GPa) takaavat pitkäaikaisen mittapysyvyyden jopa toistuvissa tyhjiösykleissä.
-
Alumiinioksidikeraaminen efektori integroiduilla tyhjiökanavilla
St.Ceran alumiinioksidista valmistettu tyhjiöpääte-efektori integroi tarkasti koneistetut tyhjiökanavat ja imureiät suoraan 99,8 %:n puhtaudesta valmistettuun alumiinioksidirunkoon. Tämä rakenne poistaa ulkoiset tyhjiötyynyt, mikä mahdollistaa kiekkojen suoran poiminnan tasaisella pitovoimalla. Materiaalin korkea taivutuslujuus (361 MPa) ja kovuus (16 GPa) varmistavat pitkäaikaisen mittapysyvyyden toistuvissa tyhjiösykleissä. Tyynyn alueen tasaisuus säilyy 10 μm:n tarkkuudella, mikä estää kiekkojen rasituksen ja rikkoutumisen. Tyhjiöportit sijaitsevat takaosan kiinnityslaipassa, mikä helpottaa integrointia OEM-robottivarsien kanssa.
-
ESD-turvalliset alumiinioksidikeraamiset osat staattisesti herkkien kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran ESD-turvalliset (sähköstaattisen purkauksen kestävät) alumiinioksidikeraamiset osat on valmistettu 99,8 %:n erittäin puhtaasta Al₂O₃:sta, ja niiden räätälöity pintaresistiivisyys on 10⁶–10⁹ Ω/sq, mikä saavutetaan patentoidulla seostus- tai pinnoitusprosessilla. Nämä osat haihduttavat staattista varausta tehokkaasti estäen herkkien puolijohdekiekkojen ja -laitteiden sähköstaattiset vauriot. Perusmateriaali säilyttää korkean taivutuslujuutensa (361 MPa), kovuutensa (16 GPa) ja dielektrisen lujuutensa (15 × 10⁶ V/m). ESD-turvallisiin keraamisiin osiin kuuluvat päätyefektorit, nostotapit, ohjauskiskot ja räätälöidyt kiinnikkeet FAB-automaatioon.
