ESD-turvalliset alumiinioksidikeraamiset osat staattisesti herkkien kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran ESD-turvalliset (sähköstaattisen purkauksen kestävät) alumiinioksidikeraamiset osat on valmistettu 99,8 %:n erittäin puhtaasta Al₂O₃:sta, ja niiden räätälöity pintaresistiivisyys on 10⁶–10⁹ Ω/sq, mikä saavutetaan patentoidulla seostus- tai pinnoitusprosessilla. Nämä osat haihduttavat staattista varausta tehokkaasti estäen herkkien puolijohdekiekkojen ja -laitteiden sähköstaattiset vauriot. Perusmateriaali säilyttää korkean taivutuslujuutensa (361 MPa), kovuutensa (16 GPa) ja dielektrisen lujuutensa (15 × 10⁶ V/m). ESD-turvallisiin keraamisiin osiin kuuluvat päätyefektorit, nostotapit, ohjauskiskot ja räätälöidyt kiinnikkeet FAB-automaatioon.
Tekniset tiedot(perustuu 99,8 % Al₂O₃:iin ja ESD-käsittelyyn):
| Kiinteistö | Arvo |
| Pohjamateriaali | 99,8 % alumiinioksidia |
| Pintaresistanssi (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/neliömetri |
| Tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Taivutuslujuus | 361 MPa |
| Vickersin kovuus | 16 GPa |
| Youngin moduuli | 380 GPa |
| Lämpölaajeneminen (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimi käyttölämpötila | 800 °C |
| Läpilyöntilujuus (irtotavarana) | 15 × 10⁶ V/m |
Huomautus: ESD-pintaresistiivisyyttä ei ole ilmoitettu toimitetuissa materiaaliominaisuustaulukoissa. Yllä oleva alue on alan standardi dissipatiivisille keraamille. Ota meihin yhteyttä testiraporttien saamiseksi.
Sovellukset:
● ESD-suojatut pääteefektorit kiekkojen siirtoon
● Maadoitusnastat ja ESD-kiinnikkeet FAB-laitteissa
● Testipistorasiat staattiselle sähkölle herkille laitteille
● Puhdastilatyökalut, joissa staattinen sähkö on kriittisen tärkeää
Valmistus ja laatu:
Vakioalumiinioksidikäsittely + ESD-pintakäsittely → pintaresistiivisyys mitattuna ANSI/ESD STM11.11 -standardin mukaisesti. Jokainen osa testataan 100 %:sti samankeskisellä rengaselektrodilla.
Edut:
● Estää ESD:hen liittyvän saantohävikin
● Säilyttää keraamisen mekaanisen lujuuden ja kemikaalien kestävyyden
● Ei staattisen purkauksen aiheuttamia hiukkasia
