Piikarbidista (SiC) valmistettu keraaminen efektoripää – erittäin jäykkä kiekkojen käsittelyyn korkeissa lämpötiloissa
St.Ceran SiC-keraaminen efektori on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidista (SiC-pitoisuus 99,72 %, vapaata Si:tä 0,05 %) käyttäen S1111-raaka-ainetta. Se tarjoaa poikkeukselliset mekaaniset ominaisuudet: taivutuslujuus 449 MPa (mitattu), kimmokerroin 457 GPa (mitattu) ja Vickers-kovuus 25–28 GPa (tyypillinen). Alhainen tiheys (3,10–3,15 g/cm³, tyypillinen) tarjoaa suuren ominaisjäykkyyden, joka sopii erinomaisesti nopeille kiekkojen siirtoroboteille. Lämmönjohtavuudella 120–150 W/m·K (tyypillinen) ja lämpölaajenemiskertoimella 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (tyypillinen) tämä efektori johtaa lämpöä tehokkaasti pois ja säilyttää mittapysyvyyden korkeissa lämpötiloissa (jopa 1600–1700 °C, ilman kuormitusta). Musta/harmaa väri ja nolla veden imeytyminen takaavat puhdastilayhteensopivuuden.
Tekniset tiedot(perustuu toimitettuun SiC S1111 -testausraporttiin ja tyypillisiin arvoihin):
| Kiinteistö | Arvo |
| Materiaali | Piikarbidi (99,72 % piikarbidia, 0,05 % vapaata piitä) |
| Väri | Musta/harmaa |
| Tiheys | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Veden imeytyminen | 0% |
| Taivutuslujuus | 449 MPa (keskimäärin) |
| Murtumissitkeys | 3,12 MPa·m¹/² (keskimäärin) |
| Kimmomoduuli | 457 GPa |
| Vickersin kovuus | 25–28 GPa |
| Lämmönjohtavuus (25 °C) | 120–150 W/m·K |
| Lämpötila-arvo (25–1000 °C) | 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimikäyttölämpötila (ilman kuormaa) | 1600–1700 °C |
Sovellukset:
● Kiekkojen käsittely korkeassa lämpötilassa (jälkikäsittely, RTP, epitaksi)
● Plasmaetsauskammiot, joissa vaaditaan korkeaa eroosiokestävyyttä
● Nopeat siirtorobotit (kevyet, erittäin jäykät)
Valmistus:
Piikarbidijauheen sintraus → varren profiilin ja kiinnitysosien tarkkuus-CNC-hionta → pinnan hionta → ultraäänipuhdistus. 100 %:n mittatarkastus ja heliumpiotesti tyhjiösovelluksiin.
Laadunvalvonta:
● Pituuden, leveyden ja tasaisuuden tarkastus CMM:llä
● Taivutuslujuustesti eräkohtaisesti (testiraporttistandardin mukaisesti)
● Pinnan virheiden silmämääräinen tarkastus mikroskoopilla
Edut alumiinioksidiin tai metalliin verrattuna:
● 2 × suurempi kimmokerroin (457 vs. ~380 GPa alumiinioksidilla) – pienempi taipuma
● 3 × korkeampi lämmönjohtavuus – nopeampi lämmönhukka
● Kestää yli 1600 °C:n lämpötilan ilmassa verrattuna alumiinioksidin 800 °C:een
● Terästä pienempi tiheys – 40 % painonpudotus
Mukauttaminen:
Pituudet 150–450 mm, kärjen muodot (reunatarttuva, Bernoulli, litteä), kiinnityslaipan kuviot OEM-piirustuksen mukaan.
*Kaikki yllä olevat mekaaniset tiedot ovat peräisin toimitetusta testiraportista (erä S1111). Lämpö- ja kovuusarvot ovat tyypillisiä tälle piikarbidilaadulle; ota meihin yhteyttä eräkohtaista sertifiointia varten.*
