12 tuuman alumiinioksidin tyhjiöistukka 300 mm:n kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran 12-tuumainen tyhjiöistukka on valmistettu tarkkuustekniikalla 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) 300 mm:n kiekkojen käsittelyyn. Istukka on hienosti uritettu (uran leveys 0,5–1,0 mm, nousu 2–3 mm), mikä varmistaa tasaisen tyhjiön jakautumisen koko 300 mm:n halkaisijalle. Tasomaisuus säilyy 5 μm:n tarkkuudella, mikä mahdollistaa kiekkojen vääntymättömän kiinnityksen kuutioinnin, takapuolen hiomisen ja tarkastuksen aikana. Materiaalin korkea taivutuslujuus (361 MPa) ja kovuus (16 GPa) takaavat pitkäaikaisen mittapysyvyyden jopa toistuvissa tyhjiösykleissä.
Tekniset tiedot (perustuu 99,8 % Al₂O₃-pitoisuuteen):
| Kiinteistö | Arvo |
| Halkaisija | 300 mm (12 tuumaa) |
| Materiaali | 99,8 % alumiinioksidia (norsunluu) |
| Tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Taivutuslujuus | 361 MPa |
| Vickersin kovuus | 16 GPa |
| Tasaisuus (yli 300 mm) | ≤5 μm |
| Uran leveys | 0,5–1,0 mm |
| Maksimi käyttölämpötila | 800 °C |
| Läpilyöntilujuus | 15 × 10⁶ V/m |
Sovellukset:
300 mm kiekkojen kuutiointi ja piirtäminen
Kiekon takapuolen hionta (ohut kiekkoalusta)
Optinen tarkastus ja luotaus
Väliaikaiset liimaus-/irrotuspidikkeet
Valmistus:
CNC-hiottu ja läpätty lopulliseen tasaisuuteen, uritettu timanttilaikoilla, ultraäänipuhdistettu ja pakattu luokan 100 puhdastilaan. Jokainen istukka tarkastetaan 100-prosenttisesti tasaisuuden (laserinterferometri) ja uran syvyyden (profilometri) osalta.
Edut:
Alhainen hiukkasten muodostuminen (≤0,05 hiukkasta/cm²)
Kemiallisesti inertti liuottimille ja hapoille
ESD-suojattu pinta (resistiivisyys >10¹³ Ω·cm)
Saatavilla räätälöityjä tyhjiöreikäkuvioita ja takapuolen portteja.
