Huokoinen keraaminen tyhjiöistukka vääntyneiden kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran huokoinen keraaminen istukka on valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidista, jonka tasainen avoin huokoisuus on 30–45 % ja huokoskoko 10–100 μm. Toisin kuin perinteisissä uritetuissa istukoissa, huokoinen pinta tuottaa jakautuneen alipaineen koko kiekon takapuolelle, pitäen tehokkaasti vääntyneet, ohuet tai yksittäiset kiekot paikallaan ilman reunojen irtoamista tai rikkoutumista. Hellävarainen alipaine (säädettävissä rajoittimella) estää myös takapuolen markkeerautumisen.
Tekniset tiedot(perustuu 99,6 % alumiiniin)₂O₃):
| Kiinteistö | Arvo |
| Huokoisuus | 30–45 % |
| Keskimääräinen huokoskoko | 10–100 μm (valittavissa) |
| Taivutuslujuus | ≥250 MPa |
| Tasaisuus (yli 300 mm) | ≤5 μm |
| Pinnan viimeistely | Läpäisty (Ra 0,8 μm) |
| Maksimi tyhjiötaso | -80 kPa |
| Käyttölämpötila | 400 °C (ilma), 600 °C (inertti) |
| Materiaali | 99,6 % Al 2O 3, ZrO 2 tai SiC |
Sovellukset:
Ohuen kiekon (≤50 μm) taustapuolen hionta
Vääristynyt kiekkojen kiinnitys kuutiointia varten
Yksittäisen muotin poiminta teipiltä
Lasipaneelien käsittely
Valmistus ja laatu:
Keraaminen jauhe sekoitettuna orgaanisiin huokosmuodostajiin → puristettu → sintrattu → läpätty lopulliseen paksuuteen. Jokainen istukka testataan virtausmittauksella tyhjiötasaisuuden varmistamiseksi (≤5 %:n poikkeama) ja tarkastetaan huokoskokojakauman (SEM) suhteen. Tasaisuus mitataan laserinterferometrillä.
Edut uritettuihin istukoihin verrattuna:
Ei kiekkojen reunojen merkintöjä tai sirun siirtymistä
Pitää vääntyneitä kiekkoja (jopa 500 μm:n kaarevuus)
Estää imureikien tukkeutumisen
Itsetasoittuva tuki ohuille alustoille
Mukauttaminen:
Pyöreitä tai suorakaiteen muotoisia, koko jopa 600 mm. Voimme käyttää reunatiivistysrenkaita tai vyöhykevakuumiväliseiniä. Metallitaustaisia versioita saatavilla korkeisiin jäykkyysvaatimuksiin.
Pyydä näyte kiekon kokoa ja vääntymistestiä varten.
