Alumiinioksidikaasun jakelulevy CVD/PVD-suihkupäähän
St.Ceran kaasunjakolevy (suihkupää) on tarkkuuskoneistettu erittäin puhtaasta 99,8 % alumiinioksidikeraamista. Siinä on joukko mikroreikiä (halkaisijat 0,3–1,5 mm), jotka varmistavat tasaisen kaasun virtauksen kiekon pinnalla CVD-, PVD- tai ALD-prosessien aikana. Levyn korkea dielektrinen lujuus (>15 × 10⁶ V/m) ja plasman resistanssi tekevät siitä välttämättömän puolijohdeohutkalvopinnoituksessa.
Tekniset tiedot:
| Kiinteistö | Arvo |
| Materiaali | 99,8 % Al₂O₃:ta tai piikarbidia |
| Halkaisija | 100–1500 mm (pyöreä tai suorakaiteen muotoinen) |
| Paksuus | 5–20 mm |
| Reiän halkaisija | 0,3–1,5 mm |
| Reiän kuvio | Mukautettu (kolmiomainen, neliömäinen, säteittäinen) |
| Tasaisuus | ≤10 μm koko alueella |
| Pinnan karheus | Ra ≤0,6 μm (kaasupuoli) |
| Avoimen alueen suhde | 5–15 % |
Sovellukset:
PECVD-suihkupään levyt
ALD-kaasuinjektorit
Etsauskammion kaasunjakelulevyt
MOCVD-reaktorin komponentit
Valmistus:
Alumiinioksidisubstraatti läpätty tasaiseksi → CNC-poraus timanttipäällysteisillä työkaluilla (reiän sijainnin toleranssi ±0,02 mm) → purseenpoisto → ultraäänipuhdistus → luokan 100 pakkaus.
Laadunvalvonta:
Jokainen levy tarkastetaan 100-prosenttisesti reiän koon (näköjärjestelmä), tasaisuuden (laserinterferometri) ja kaasun virtauksen tasaisuuden (painekartoitus) osalta. Ei mikrohalkeamia 20x mikroskoopilla.
Edut metallilevyihin verrattuna:
Ei metallikontaminaatiota ohuissa kalvoissa
Vähäisempi hiukkasten muodostuminen (ei korroosiohiutaleita)
Kestää aggressiivisia puhdistusplasmoja (CF₄, NF₃)
Mukautetut ominaisuudet:
Takapuolen kaasukanavat, upotetut reiät, reunatiivisteet ja erilaiset materiaalilaadut (SiC paremman lämmönjohtavuuden takaamiseksi, Y₂O₃-pinnoite plasmakestävyyden parantamiseksi).
Tarjoamme CAD-todennuksen ja virtaussimuloinnin ennen valmistusta.
