Keraaminen tukitappi puolijohdeprosessien kiinnikkeille
St.Ceran keraamisia tukitappeja (tunnetaan myös nostotappina tai tukitappina) käytetään puolijohdeprosessikammioissa kiekkojen tai substraattien nostamiseen käsittelyn, lämmityksen tai jäähdytyksen aikana. Nämä tapit on valmistettu 99,8-prosenttisesta alumiinioksidista tai piinitridistä, ja niillä on korkea puristuslujuus, lämmönkestävyys ja kemikaalienkestävyys. Puolipallon muotoinen tai litteä kärki estää kiekkojen naarmuuntumisen.
Tekniset tiedot(Alumiinioksidi 99,8 %):
| Kiinteistö | Arvo |
| Materiaali | 99,8 % Al₂O₃:ta tai Si₃N₄:tä |
| Pituus | 10–100 mm |
| Halkaisija | 1–10 mm |
| Kärjen muoto | Litteä, puolipallon muotoinen, teräväkärkinen |
| Puristuslujuus (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Maksimi käyttölämpötila (Al₂O₃) | 1600 °C |
| Pinnan viimeistely | Läpäisty (Ra ≤0,4 μm) |
| Halkaisijan toleranssi | ±0,01 mm |
Sovellukset:
Nosta tapit CVD/PVD-kammioissa
Tukitappeja paistolevyllä paistamiseen
Koetinkortin tukirakenteet
Kvartsiuunin venetuet
Valmistus:
Ulkopinnan tarkka keskitön hionta → kärkiprofiilin timanttihionta → ultraäänipuhdistus → 100 %:n mittatarkastus.
Laadunvalvonta:
KMK pituudelle/halkaisijalle, optinen komparaattori kärjen säteelle, kuormituskoe puristuslujuuden varmistamiseksi (satunnainen näyte erää kohden). Ei ferromagneettista kontaminaatiota (varmistettu magneetilla).
Edut metalli- tai kvartsipinneihin verrattuna:
5 kertaa pidempi käyttöikä kuin ruostumattomalla teräksellä
Ei metallikontaminaatiota prosessikammiossa
Korkeampi lämpötilankesto kuin kvartsilla (1600 °C vs. 1100 °C)
Tarttumaton pinta (vähemmän hiukkasten tarttumista)
Mukauttaminen:
Useita kärkiprofiileja, kierteitetty pohja tai kapeneva varsi.
Toimitamme myös piikarbidipinnejä äärimmäisiin plasmaympäristöihin.
