Korkean puhtauden alumiinioksidikeraaminen rengas CVD/PVD-prosessikammioihin
St.Ceran keraaminen rengas on erityisesti suunniteltu käytettäväksi CVD (Chemical Vapor Deposition) ja PVD (Physical Vapor Deposition) -prosessikammioissa. Tämä 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) valmistettu rengas toimii kammion vuorauksena, tarkennusrenkaana tai prosessisarjan osana plasman rajoittamiseksi ja kammion seinämien suojaamiseksi eroosiolta. Materiaali tarjoaa erinomaisen plasmankestävyyden, korkean dielektrisen lujuuden (15×10⁶ V/m) ja lämmönkestävyyden jopa 1600 °C:seen asti, mikä varmistaa pitkän käyttöiän aggressiivisissa fluoripohjaisissa plasmaympäristöissä. Tarkat mittatoleranssit (±0,05 mm sisä-/ulkohalkaisijalla) ja tasaisuus (≤10 μm) mahdollistavat kiekkojen reunojen tasaisen sijoittelun, parantaen kerrostuksen tasaisuutta ja vähentäen hiukkasten muodostumista.
Tekniset tiedot (perustuu 99,8 % Al₂O₃-pitoisuuteen):
| Kiinteistö | Arvo |
| Materiaali | 99,8 % alumiinioksidia (norsunluu) |
| Tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Veden imeytyminen | 0% |
| Taivutuslujuus | 361 MPa |
| Murtumissitkeys | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickersin kovuus | 16 GPa |
| Youngin moduuli | 380 GPa |
| Lämmönjohtavuus | 32 W/m·k |
| Lämpölaajeneminen (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Läpilyöntilujuus | 15 × 10⁶ V/m |
| Ominaisvastus | >10¹⁴ Ω·cm |
| Maksimi käyttölämpötila | 1600 °C |
Sovellukset:
- · CVD-kammion tarkennusrenkaat ja reunarenkaat
- · PVD-kammion suojarenkaat ja kiristysrenkaat
- · Syövytyskammion vuoraukset ja peiterenkaat
- · Plasman rajoitusrenkaat dielektrisissä etsausjärjestelmissä
Valmistusprosessi:
Isostaattinen puristus → tuorekoneistus → sintraus 1600 °C:ssa → CNC-ID/OD-hionta → pinnan hionta → ultraäänipuhdistus → 100 % CMM-tarkastus. Erittäin sileä pinnanlaatu (Ra ≤0,4 μm) minimoi hiukkasten tarttumisen.
Laadunvalvonta:
- · 100 % mittatarkistus (sisähalkaisija, ulkohalkaisija, paksuus, tasaisuus)
- · Väriaineen tunkeutumisaineen tarkastus pinnan mikrohalkeamien varalta
- · Läpilyöntilujuustesti ASTM D149 -standardin mukaisesti
- · Ei näkyvää värinmuutosta tai huokoisuutta 20× mikroskoopilla tarkasteltuna
Edut metalli- tai kvartsisormuksiin verrattuna:
- · 5–10 kertaa pidempi käyttöikä kuin alumiinirenkailla fluoriplasmassa
- · Ei metallikontaminaatiota ohuissa kalvoissa
- · Korkeampi plasmankestävyys kuin kvartsilla (ei eroosiokohoja)
- · Säilyttää sähköeristyksen >10¹⁴ Ω·cm myös pitkäaikaisen käytön jälkeen
Vaihtoehtoinen materiaali — piinitridi (Si₃N₄):
Vielä suurempaa murtolujuutta (6,2 MPa·m¹/²) ja parempaa lämpöshokin kestävyyttä (lämpölaajenemiskerroin 3,2 × 10⁻⁶/℃) vaativiin sovelluksiin on saatavilla Si₃N₄-renkaita. Alumiinioksidi on kuitenkin kustannustehokkaampi useimmissa CVD/PVD-sovelluksissa. Määritä materiaalitoive tilauksen yhteydessä.
Mukauttaminen:
- · Läpireiät, porrastetut profiilit tai upotetut reiät asennusta varten
- · Y₂O₃-pinnoitettu pinta parantaa plasmankestävyyttä (valinnainen)
- · Osanumeron / eräkoodin laserkaiverrus
Huomautus:Yllä olevat tiedot noudattavat tarkasti toimitettua Al₂O₃-ominaisuustaulukkoa. Si₃N₄-renkaiden osalta katso erillinen Si₃N₄-tietolomake.
