Teflonpäällysteinen keraaminen päätykappale – tarttumaton pinta herkkään kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran teflonilla (PTFE) pinnoitettu keraaminen efektori yhdistää erittäin lujan alumiinioksidialustan tasaiseen, pienikitkaiseen PTFE-pinnoitteeseen (paksuus 15–30 μm). Pinnoite tarjoaa erittäin alhaisen kitkakertoimen (≤0,1), erinomaisen kemikaalienkestävyyden ja tarttumattomuuden, mikä estää kiekkojen tarttumisen ja eliminoi takapuolen kontaminaation. Alla oleva keraaminen alusta (99,8 % Al₂O₃) tarjoaa suuren taivutuslujuuden (361–1000 MPa), kulutuskestävyyden ja lämmönkestävyyden jopa 260 °C:seen asti (pinnoituksen raja). Tämä efektori sopii erinomaisesti herkkien, ohuiden tai tahmeiden kiekkojen käsittelyyn (esim. fotoresistipinnoituksen tai kemiallisten prosessien jälkeen).
Tekniset tiedot (perustuu 99,8 % Al₂O₃-pitoisuuteen PTFE-pinnoitteella):
| Kiinteistö | Arvo |
| Alustamateriaali | 99,8 % alumiinioksidia (norsunluu) |
| Pinnoitemateriaali | PTFE (teflon) |
| Pinnoitteen paksuus | 15–30 μm |
| Kitkakerroin (päällystetty) | ≤0,1 |
| Alustan taivutuslujuus (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Alustan kovuus (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Alustan tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Maksimi käyttölämpötila (pinnoitteen raja) | 260 °C |
| Pinnan karheus (ennen pinnoitusta) | Ra ≤0,4 μm |
| Läpilyöntilujuus (substraatti) | 15 × 10⁶ V/m |
Huomautus: PTFE-pinnoite rajoittaa enimmäislämpötilan 260 °C:seen; korkeampien lämpötilojen sovelluksissa harkitse pinnoittamattomia keraamisia tai muita pinnoitteita.
Sovellukset:
- · Kiekkojen käsittely fotoresistipinnoitteen jälkeen (tahmeat pinnat)
- · Ohuiden tai hauraiden kiekkojen siirto (estää tarttumisen)
- · Puolijohteiden tarkastus- ja mittaustyökalut
- · Puhdastilan automaatio, jossa hiukkaskontaminaatio on minimoitava
Valmistusprosessi:
Keraaminen alusta sintrattu ja tarkkuushiottu → pinnan karhennus (plasmasyövytys tai hiekkapuhallus) → PTFE-ruiskupinnoite → lämpökovetus 380 °C:ssa → lopputarkastus. Jokaisen efektorin pinnoitteen paksuus (pyörrevirta), tarttuvuus (ristileikkauskoe ASTM D3359) ja kitkakerroin tarkastetaan.
Laadunvalvonta:
100 % silmämääräinen tarkastus reikien tai kuplien varalta; pinnoitteen paksuuden tasaisuus ±5 μm:n sisällä; ei delaminaatiota 90° taivutuskokeen jälkeen todistajakappaleella. Mittatarkastus OEM-toleranssin mukaisesti (pituus ±0,05 mm, tasaisuus ≤0,1 mm).
Edut pinnoittamattomiin tai muihin pinnoitteisiin verrattuna:
- · Tarttumaton pinta estää kiekkojen tarttumisen ja rikkoutumisen
- · Pienin kitkakerroin keraamisten pinnoitteiden joukossa
- · Erinomainen kemikaalienkestävyys (hapot, emäkset, liuottimet)
- · Vähentää hiukkasten muodostumista estämällä materiaalin siirtymisen
Rajoitukset (huomautuksia materiaalipoikkeamasta):
PTFE-pinnoite ei ole peräisin toimitetuista materiaaliominaisuustaulukoista (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Alustan ominaisuudet noudattavat tarkasti toimitettua datalehteä (99,8 % Al₂O₃). Pinnoitteen ominaisuudet perustuvat alan standardien mukaisiin PTFE-spesifikaatioihin, koska pinnoitetietoja ei ole annettu. Yli 260 °C:n lämpötiloihin suositellaan pinnoittamatonta keraamista efektoria.*
Mukauttaminen:
Saatavilla pituuksina 150–1500 mm, kärjen muodoilla (reunatarttuva, Bernoulli, litteä) ja kiinnityslaippakuvioilla OEM-piirustusten mukaisesti. Osittainen pinnoitus (vain kosketuspinnat) tai täysi pinnoite valinnaisesti.
Pyydä näytettä tarttuvuus- ja kitkakokeita varten.
