Erittäin puhdasta alumiinioksidia oleva kammion tarkennusrengas plasmaetsaus- ja CVD-järjestelmiin

St.Ceran kammion tarkennusrengas on kriittinen prosessipakkauksen komponentti, jota käytetään plasmaetsaus-, CVD- ja PVD-puolijohdelaitteissa. Rengas on valmistettu 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃), ja se ympäröi kiekon reunaa rajoittaen plasmaa ja optimoiden ionien kulmajakauman, mikä parantaa syövytyksen tasaisuutta kiekon pinnalla. Materiaali tarjoaa poikkeuksellisen plasmankestävyyden, korkean dielektrisen lujuuden (15×10⁶ V/m) ja lämpöstabiilisuuden jopa 1600 °C:seen asti, mikä varmistaa pitkäaikaisen luotettavuuden aggressiivisissa fluori- tai klooripohjaisissa plasmaympäristöissä. Tarkkuushiottu sisä- ja ulkohalkaisija sekä tasaisuus (≤10 μm) mahdollistavat kiekon reunan tarkan asemoinnin, mikä vähentää reunavirheitä ja hiukkasten muodostumista.

Tekniset tiedot(perustuu 99,8 % alumiiniin)₂O₃):

Sovellukset:

• · Dielektrisen syövytyskammion tarkennusrenkaat (oksidi-, nitridi-syövytys)
• · Piitä syövyttävät kammion reunarenkaat
• · CVD-kammion prosessisarjan renkaat
• · PVD-kammion suoja ja kiristysrenkaat

Valmistusprosessi:

Erittäin puhdasta alumiinioksidijauhetta puristetaan isostaattisesti → koneistetaan lähes lopulliseen muotoonsa → sintrataan 1600 °C:ssa → CNC-timanttihiotaan sisä- ja ulkohalkaisija sekä paksuus → hiotaan ≤ 10 μm:n tasaisuuden saavuttamiseksi → ultraäänipuhdistus → 100 %:n CMM-tarkastus. Pinnanlaatu Ra ≤ 0,4 μm minimoi hiukkasten tarttumisen.

Laadunvalvonta:

• · 100 %:n mittatarkastus (sisä- ja ulkohalkaisija, paksuus, yhdensuuntaisuus)
• · Väriaineen tunkeutuvuustesti mikrohalkeamien varalta (halkeamia ei sallita)
• · Silmämääräinen tarkastus 20× mikroskoopilla — ei siruja, aukkoja tai värimuutoksia
• · Läpilyöntilujuustesti ASTM D149 -standardin mukaisesti (näytteenotto)

Edut pii- tai kvartsitarkennusrenkaisiin verrattuna:

• · 5–10 kertaa pidempi käyttöikä fluorihiiliplasmassa
• · Ei kulutettavia eroosiohiukkasia, jotka voisivat saastuttaa kiekkoja
• · Korkeampi dielektrinen lujuus estää valokaaren
• · Säilyttää tasaisuuden ja mittatarkkuuden tuhansien radiotaajuustuntien ajan

Vaihtoehtoinen materiaali — yttriastabiloitu zirkoniumoksidi (ZrO₂):

Sovelluksiin, jotka vaativat suurempaa murtolujuutta (esim. kammiot, joissa on usein lämpövaihteluita tai mekaanisia iskuja), on saatavilla ZrO₂-tarkennusrenkaita (tiheys 6,03 g/cm³, taivutuslujuus 1000 MPa, murtolujuus 5–8 MPa·m¹/²). Alumiinioksidi tarjoaa kuitenkin paremman kustannustehokkuuden ja on alan standardi useimmissa tarkennusrengassovelluksissa.

Mukauttaminen:

• · Askelmaprofiilit, vastareiät tai kiinnitysreiät asiakkaan piirustusten mukaan
• · Y₂O₃-pinnoite parantaa plasmaeroosiokestävyyttä (paksuus 20–100 μm)
• · Osanumeron, päivämääräkoodin tai kohdistusmerkkien lasermerkintä

Huomautus:Kaikki tiedot noudattavat tarkasti toimitettua Al₂O₃-ominaisuustaulukkoa. ZrO₂-spesifikaatiot löytyvät toimitetusta zirkoniumoksidin datalehdestä. Tarkennusrenkaiden mallit saattavat vaatia patenttiselvityksen – asiakkaat ovat vastuussa immateriaalioikeuksien varmistamisesta.