Korkean lämpötilan kammiotiivistykseen tarkoitettu erittäin puhdas alumiinioksidikeraaminen tiivisterengas
St.Ceran keraaminen tiivisterengas on suunniteltu vaihtoehdoksi polymeerisille O-renkaille äärimmäisissä olosuhteissa, joissa elastomeerit hajoavat. Tämä 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) valmistettu jäykkä tiivisterengas on tarkoitettu staattisiin tiivistyssovelluksiin – tyypillisesti yhdessä pehmeän metallin tai grafiittitiivisteen kanssa – luotettavan tyhjiön tai kaasun suojauksen tarjoamiseksi jopa 800 °C:n lämpötiloissa ja aggressiivisissa plasma- tai kemiallisissa ympäristöissä. Materiaali ei kaasunmuodostusta, sillä on korkea puristuslujuus (taivutuslujuus 361 MPa) ja kemiallinen inerttiys (kestää halogeeneja, happoja ja emäksiä paitsi HF:ää). Tarkkuushiotut tiivistyspinnat (tasaisuus ≤5 μm, pinnan karheus Ra ≤0,2 μm) varmistavat tiiviin kosketuksen vastakkaisiin metalli- tai keraamisiin komponentteihin.
Tekniset tiedot(perustuu 99,8 % alumiiniin)₂O₃):
| Kiinteistö | Arvo |
| Materiaali | 99,8 % alumiinioksidia (norsunluu) |
| Tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Veden imeytyminen | 0% |
| Taivutuslujuus | 361 MPa |
| Puristuslujuus (arvioitu) | >2000 MPa |
| Vickersin kovuus | 16 GPa |
| Lämpölaajeneminen (25–1000 °C) | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Maksimi käyttölämpötila | 800 °C (ilma), 1600 °C (inertti) |
| Pinnan viimeistely (tiivistyspinta) | Ra ≤0,2 μm (limattu) |
| Tasaisuus (per 25 mm) | ≤5 μm |
| Heliumin vuotonopeus | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (sopivalla tiivisteellä) |
Sovellukset:
- · Puolijohteiden prosessikammion staattiset tiivisteet (CVD, PVD, etsaus)
- · Korkean lämpötilan uunin luukun tiivisteet
- · Tyhjiöläpivientilaipat
- · Kemiallisen reaktorin astian sulkemiset
Valmistusprosessi:
Isostaattinen puristus → sintraus 1600 °C:ssa → tarkka molemminpuolinen lippaus erittäin tasaisten ja sileiden tiivistyspintojen saavuttamiseksi → reunojen viisteytys → ultraäänipuhdistus. Jokainen rengas on 100 %:sti vuototestattu heliummuotilla varustetulla vuodonilmaisimella, jossa on vakiometallitiiviste.
Laadunvalvonta:
- · KMK:n mittatarkistus (sisähalkaisija, ulkohalkaisija, paksuus, yhdensuuntaisuus)
- · Pinnan profilometri Ra:lle ja aaltoilulle
- · Tasaisuuden mittaus optisella tasopinnalla
- · Heliumin vuototesti (vastapaineistusmenetelmä)
Edut polymeeri-O-renkaisiin verrattuna:
- · Kestää 800°C vs. <300°C FFKM:lle
- · Ei kaasunmuodostusta – ei tyhjiöympäristön saastumista
- · Kestää kaikkia plasmakemikaaleja (fluori, kloori, happi)
- · Ei puristuspainumaa tai pysyvää muodonmuutosta
- · Rajoittamaton käyttöikä puhtaissa ympäristöissä
Rajoitukset (kriittiset huomautukset):
- · Ei O-rengas— se on jäykkä keraaminen rengas, jonka tiivistämiseen tarvitaan pehmeä tiiviste (kupari, alumiini tai grafiitti).
- · Ei sovellu dynaamiseen liikkeeseen tai suuriin laipan linjausvirheisiin.
- · Korkeammat alkukustannukset kuin polymeerisillä O-renkailla, mutta pidempi käyttöikä alentaa omistuskustannuksia.
- · Hauras – käsittele varoen; vältä pistemäisiä iskuja tai taivutusjännitystä.
Huomautus:Yllä olevat tiedot noudattavat tarkasti toimitettua Al₂O₃-ominaisuustaulukkoa. Elastomeerimateriaaleille ei annettu tietoja. Tämä tuote on staattinen tiivisterengas, ei elastomeerinen O-rengas. Vahvista, täyttääkö tämä sovelluksesi vaatimukset.
