-
Korkean puhtauden alumiinioksidikeraaminen robottivarsi kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran alumiinioksidikeraaminen robottivarsi on valmistettu tarkkuustekniikalla 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta Al₂O₃:sta (alumiinioksidista). Siinä yhdistyvät poikkeuksellinen taivutuslujuus (361 MPa), korkea kovuus (16 GPa) ja alhainen tiheys (3,93 g/cm³), minkä tuloksena on kevyt mutta jäykkä varsi puolijohdekiekkojen siirtoon. Materiaalin lämpölaajenemiskerroin (7,2 × 10⁻⁶/°C) vastaa tarkasti piitä, mikä minimoi lämpöpoikkeaman prosessoinnin aikana.
-
Bernoulli-keraaminen päätyefektori — Kosketukseton kiekkojen käsittely ohuille ja hauraille kiekoille
St.Ceran Bernoulli-keraaminen efektori käyttää aerodynaamista nostovoimaa kiekkojen käsittelyyn ilman fyysistä kosketusta. Se on valmistettu erittäin puhtaasta 99,8 % alumiinioksidista (Al₂O₃) tai piikarbidista (SiC), ja siinä on tarkkuuskoneistetut suuttimet, jotka suihkuttavat paineistettua kaasua luoden ohuen ilmakalvon efektorin ja kiekon väliin. Tämä kosketukseton periaate poistaa takapuolen kontaminaation, reunojen lohkeilun ja pintavauriot, joten se sopii erinomaisesti ohuille (≤100 μm), hauraille tai vääntyneille kiekoille. Keraaminen alusta tarjoaa suuren taivutuslujuuden (361 MPa Al₂O₃:lle; jopa 550–600 MPa piikarbidille), pienen massan ja erinomaisen mittapysyvyyden, mikä varmistaa toistettavan paikannuksen nopeissa kiekkojen siirtoroboteissa.
-
Teflonpäällysteinen keraaminen päätykappale – tarttumaton pinta herkkään kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran teflonilla (PTFE) pinnoitettu keraaminen efektori yhdistää erittäin lujan alumiinioksidialustan tasaiseen, pienikitkaiseen PTFE-pinnoitteeseen (paksuus 15–30 μm). Pinnoite tarjoaa erittäin alhaisen kitkakertoimen (≤0,1), erinomaisen kemikaalienkestävyyden ja tarttumattomuuden, mikä estää kiekkojen tarttumisen ja eliminoi takapuolen kontaminaation. Alla oleva keraaminen alusta (99,8 % Al₂O₃) tarjoaa suuren taivutuslujuuden (361–1000 MPa), kulutuskestävyyden ja lämmönkestävyyden jopa 260 °C:seen asti (pinnoituksen raja). Tämä efektori sopii erinomaisesti herkkien, ohuiden tai tahmeiden kiekkojen käsittelyyn (esim. fotoresistipinnoituksen tai kemiallisten prosessien jälkeen).
