Korkean puhtauden alumiinioksidikeraaminen robottivarsi kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran alumiinioksidikeraaminen robottivarsi on valmistettu tarkkuustekniikalla 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta Al₂O₃:sta (alumiinioksidista). Siinä yhdistyvät poikkeuksellinen taivutuslujuus (361 MPa), korkea kovuus (16 GPa) ja alhainen tiheys (3,93 g/cm³), minkä tuloksena on kevyt mutta jäykkä varsi puolijohdekiekkojen siirtoon. Materiaalin lämpölaajenemiskerroin (7,2 × 10⁻⁶/°C) vastaa tarkasti piitä, mikä minimoi lämpöpoikkeaman prosessoinnin aikana.
Tekniset tiedot (perustuu 99,8 % Al₂O₃-pitoisuuteen):
| Kiinteistö | Arvo |
| Väri | Norsunluu |
| Tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Taivutuslujuus | 361 MPa |
| Vickersin kovuus | 16 GPa |
| Youngin moduuli | 380 GPa |
| Lämmönjohtavuus | 32 W/m·k |
| Lämpölaajeneminen | 7,2 × 10⁻⁶/℃ |
| Läpilyöntilujuus | 15 × 10⁶ V/m |
Sovellukset:
- Tyhjiökiekkojen siirtorobotit (200 mm/300 mm)
- Ilmakehän käsittelyjärjestelmät
- Pääteefektorivarret FAB-automaatioon
Valmistusprosessi:
Isostaattinen puristus → tuorekoneistus → sintraus 1600 °C:ssa → CNC-tarkkuushioma → ultraäänipuhdistus → luokan 100 puhdastilapakkaus. Jokainen varsi tarkastetaan 100-prosenttisesti CMM:llä tasaisuuden (±0,01 mm) ja pinnan karheuden (Ra ≤0,4 μm) osalta.
Laadunvalvonta:
St.Cera on ISO 9001:2015 -sertifioitu. Suoritamme tunkeumatestejä mikrohalkeamien varalta, kolmipistetaivutusta taivutuslujuuden varalta ja dielektrisen lujuuden testauksen ASTM D149 -standardin mukaisesti.
Edut metallisiin käsivarsiin verrattuna:
- 50 % kevyempi kuin ruostumaton teräs
- Ei galvaanista korroosiota
- Pienempi hiukkasten muodostuminen (≤0,05 hiukkasta/cm²)
- Saatavilla ESD-suojattu pinnoite (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Mukauttaminen:
Pituudet 150 mm - 450 mm, kärjen muodot (reunatarttuva, Bernoulli, alipaine) ja kiinnityslaippakuviot OEM-piirustusten mukaan. Prototyypit kahdessa viikossa.
Irtotilauksia varten pyydäthän tarjouksen.
