Metallitaustainen huokoinen piikarbidi (SiC) tyhjiöistukka vääntyneiden ja ohuiden kiekkojen käsittelyyn

St.Ceran metallipohjainen keraaminen tyhjiöistukka yhdistää huokoisen piikarbidi (SiC) -keraamisen kerroksen tarkkuuskoneistettuun metallipohjaan (alumiini tai ruostumaton teräs). Huokoinen piikarbidimateriaali (sinimusta, huokoisuus 35–40 %, huokoskoko 20–30 μm, läpäisevyys 60 ml/cm²·min) tarjoaa tasaisen ja hellävaraisen tyhjiön jakautumisen koko kiekon pinnalle, mikä estää reunojen merkintöjä ja mahdollistaa kosketuksettoman tuen ohuille (≤100 μm) tai vääntyneille kiekoille. Piikarbidikerros tarjoaa pienen lämpölaajenemisen (3,5 × 10⁻⁶/℃), lämpöstabiilisuuden jopa 1000 °C:een asti ja kohtuullisen taivutuslujuuden (32–35 MPa). Metallipohja lisää rakenteellista jäykkyyttä, helpottaa asennusta kierrereikien kautta ja suojaa haurasmurtumia vastaan. Tämä istukka sopii erinomaisesti takapuolen hiontaan, kuutiointiin ja korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyyn, joissa tasainen tyhjiö ja lämpöyhteensopivuus ovat kriittisiä.

Tekniset tiedot (perustuvat toimitettuihin huokoisen piikarbidin tietoihin):

Huomautus: Taivutuslujuus on huokoisuuden vuoksi pienempi kuin tiheällä piikarbidilla. Metallipohjaiset ominaisuudet eivät ole peräisin keraamisista pöydistä.

Sovellukset:

• · Ohuiden kiekkojen (≤100 μm) taustahionta
• · Vääristynyt kiekkojen kiinnitys kuutiointia varten
• · Korkean lämpötilan kiekkojen istutus (jopa 1000 °C)
• · Tyhjiökiinnitys huokoisille tai hauraille alustoille

Valmistus:

Huokoinen piikarbidilevy (muodostettu huokosmuodostajilla, sintrattu) → limitetty tasaiseksi ≤10 μm → metallijalusta, jossa alipaineportit ja kiinnityselementit → epoksiliimaus tai mekaaninen kiinnitys → heliumin vuototesti.

Laadunvalvonta:

• · Huokoisuus ja huokoskoko varmistettu SEM-elektronspektroskopialla
• · Läpäisevyystesti (ilmavirtaus)
• · Tasaisuus mitattuna laserinterferometrillä
• · Heliumin vuotonopeus <1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s

Edut uritettuihin tai tiheisiin keraamisiin istukoihin verrattuna:

• · Ei kiekkojen jälkiä – tasainen tyhjiö ilman erillisiä reikiä
• · Itsepuhdistuvat ihohuokoset – vähentää tukkeutumista
• · Käsittelee vääntyneitä kiekkoja (jopa 500 μm:n kaarevuus)
• · Metallijalusta estää haurasmurtuman ja yksinkertaistaa integrointia

Rajoitukset:

• · Alhaisempi taivutuslujuus (32–35 MPa) – vältä iskukuormitusta
• · Käyttölämpötila rajoitettu 1000 °C:een (huokoinen piikarbidi), mutta metallipohjainen epoksisidos rajoittaa ≤200 °C:een, ellei sitä ole mekaanisesti kiinnitetty
• · Ei sovellu korkeapainetyhjiöön (huokoinen rakenne rajoittaa suurinta tyhjiöeroa)

Mukauttaminen:

• · Metallijalusta: alumiini (kevyt), ruostumaton teräs (korroosionkestävä), Invar (vähäinen laajeneminen)
• · Liimaus: epoksi (≤200 °C) tai mekaaninen puristin (jopa 500 °C)
• · Reunatiivisterengas vyöhykealipainesäätöön

Huomaa: Toimitettu taivutuslujuus (32–35 MPa) on huomattavasti alhaisempi kuin tiheillä keraamisilla materiaaleilla huokoisuuden vuoksi. Käsittele varoen reunojen lohkeilun välttämiseksi.