Alumiinioksidin PVD-eristysrengas fysikaalisiin höyrypinnoitusjärjestelmiin
St.Ceran PVD-eristysrengas on valmistettu 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃), ja sitä käytetään fysikaalisissa höyrypinnoitusjärjestelmissä (PVD). Rengas tarjoaa sähköisen eristyksen kammion komponenttien välille, estäen valokaaren ja varmistaen vakaan plasmatoiminnan. Tärkeimpiä ominaisuuksia ovat korkea dielektrinen lujuus (15 × 10⁶ V/m), ominaisvastus >10¹⁴ Ω·mm²/m ja terminen stabiilius jopa 1600 °C:een asti. Tarkkuuskoneistuksen avulla saavutamme jopa 600 mm:n ulkohalkaisijan, 0,2 mm:n sisähalkaisijan, 0,003 mm:n tasaisuuden ja Ra0,1-pinnanlaadun. Renkaan nollahuokoisuus ja kemiallinen inerttiys takaavat pitkäaikaisen luotettavuuden aggressiivisissa sputterointiympäristöissä.
Tekniset tiedot (perustuu 99,8 % alumiiniin)₂O₃& St.Ceran valmistuskapasiteetit):
| Kiinteistö | Arvo |
| Materiaali | 99,8 % alumiinioksidia (norsunluu) |
| Tiheys | 3,93 g/cm³ |
| Taivutuslujuus | 361 MPa |
| Vickersin kovuus | 16 GPa |
| Läpilyöntilujuus | 15 × 10⁶ V/m |
| Ominaisvastus | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Suurin ulkohalkaisija | 600 mm |
| Pienin sisähalkaisija | 0,2 mm |
| Maksimipaksuus | 100 mm |
| Tasaisuus | 0,003 mm |
| Rinnakkaisuus | 0,002 mm |
| Pinnan viimeistely | Ra0.1 |
| Maksimi käyttölämpötila | 1600 °C |
Sovellukset:
- · Kohteen taustalevyn eristeet PVD-järjestelmissä
- · Kammion läpivientieristeet
- · Suojarengaseristeet sputterointijärjestelmissä
- · Korkeajännitteinen eristys plasmakammioissa
Valmistuksen tarkkuus:
Samankeskisyys: 0,01 mm, pyöreys: 0,002 mm, suoruus: 0,005 mm, kohtisuoruus: 0,005 mm, CMM:llä varmistettu.
AEdut polymeerieristeisiin verrattuna:
- · Kestää 1600 °C:n lämpötilan verrattuna polymeerien alle 300 °C:n lämpötilaan
- · Ei kaasunmuodostusta – säilyttää tyhjiön eheyden
- · Kestää plasmaeroosiota ja kemiallisia hyökkäyksiä
Mukauttaminen:
Saatavilla räätälöityjä poikkileikkauksia, kiinnitysominaisuuksia, askelprofiileja ja useita samankeskisiä rengasmalleja.
